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靜壓導(dǎo)軌是精密超精密加工機(jī)床的重要功能單元，液壓站是靜壓導(dǎo)軌正常運(yùn)行的必要輔助單元。為了保持靜壓導(dǎo)軌的高精度，液壓站必須能夠?yàn)殪o壓導(dǎo)軌提供壓力非常穩(wěn)定的潤(rùn)滑油。設(shè)計(jì)了一種高精度靜壓導(dǎo)軌液壓站，采用變頻電機(jī)驅(qū)動(dòng)精密齒輪泵供給潤(rùn)滑油。閉環(huán)反饋調(diào)節(jié)器用于控制潤(rùn)滑油的穩(wěn)定輸出。實(shí)測(cè)表明，該液壓站輸出壓力穩(wěn)定精度可達(dá)0.05%，應(yīng)用于超精密機(jī)床靜壓導(dǎo)軌取得了良好的效果。